WAFER SUPPLY & D-CUT ALIGN
Elevator와 Pusher로 Wafer를 투입하고, 3개의 Bearing으로 D-Cut을 정렬한 뒤 삼각 지지대형 원형 Gripper가 Mounter Chuck으로 이송합니다.
SEMICONDUCTOR AUTOMATION
Auto Tape Lift Off
AUTO TAPE LIFT OFF · DETAPESEMICONDUCTOR AUTOMATION
Auto Tape Lift Off (Detape)
Wafer의 Photo Resist Strip 공정을 위해 Blue Tape를 활용하여 대상막을 자동 제거하는 설비입니다. Wafer 투입·D-Cut 정렬·Tape Laminating·De-tape·배출 공정을 자동화해 생산성과 안정적인 품질을 유지하도록 설계되었습니다.
Lift-off 후 이물 및 잔여 PR 최소화 · 동작 중 Wafer 파손 방지 · UPH 고객사 협의
EQUIPMENT CONFIGURATION
장비 구성
Wafer 이송과 Tape 처리 공정을 안정적으로 수행하는 핵심 모듈 구성입니다.
NO. / PART NAMENO. / PART NAME
01Wafer Chuck Unit
02In Magazine Unit
03Out Magazine Unit
04Tape Input
05400W Servo Motor
06Tape Output
AUTOMATED PROCESS
설비 동작 순서
Wafer 투입부터 Magazine 배출까지 이어지는 9단계 자동 순환 공정- 01
WAFER LOADING
Wafer 투입
- 02
WAFER ALIGN
3-Point Bearing D-Cut 정렬
- 03
GRIPPER PICK-UP
Gripper 하강 및 Wafer Pick-up
- 04
CHUCK PLACEMENT
Wafer Chuck 안착
- 05
TAPE LAMINATING
Tape Roller 전·후진 Laminating
- 06
DE-TAPE
Swing Arm으로 Blue Tape와 PR 제거
- 07
CHUCK RETURN
Chuck 원점 이동
- 08
UNLOADER TRANSFER
Wafer Unloader 이송
- 09
MAGAZINE OUTPUT
Cassette 삽입 및 Magazine 배출
OPERATION METHOD
각부 동작 방식
Wafer 공급·배출, Tape & Rolling, De-tape 공정을 유기적으로 연결합니다.
UNLOADER TRANSFER & CASSETTE OUTPUT
Lift-off가 완료된 Wafer를 Loader 반대편 Unloader로 이송하고, 2행정 Pusher를 통해 Cassette에 안정적으로 삽입합니다.
Tape & Rolling
Mounter Chuck을 공압으로 이동시키고 Tape Roller를 전·후진해 Blue Tape를 Wafer 표면에 균일하게 Laminating합니다.
DE-TAPE
보조 Roller로 Tape 각도를 형성한 뒤 Servo Motor와 One-way Bearing Swing Arm의 호 운동으로 Blue Tape를 분리하면서 Wafer 표면의 PR을 제거합니다.
TECHNICAL SPECIFICATIONS
사양 및 주요 부품
설비 크기, 유틸리티, 제어·구동 및 주요 부품 사양- 모델명
- P-ST X2 DTF
- 예상 설비 크기
- 750(W) × 1100(D) × 1697.5(H) mm
(Tower Lamp 별도) - 입력 전원
- 단상 220 VAC ±10% / 50/60 Hz
- Supplied Air Pressure
- Min. 5 bar
- 적용 Wafer Size
- 6 inch 전용
- 전장부 조작
- M2i 7 inch Touch Panel
- 전장부 Main
- LG PLC / XBC-DN32H
- Motor
- LS Servo Motor 400W / BLDC Motor 50W / 30W
- 전장 부품 및 기타
- Fiber Sensor / Autonics
- 공압 장치
- SMC & TPC
※ 적용 공정과 고객 협의 조건에 따라 세부 사양은 변경될 수 있습니다.
MEDIA & RESOURCES
장비 영상과 기술자료
장비의 실제 동작 영상과 제품 매뉴얼을 확인해 보세요.
PRODUCT MANUAL
장비 매뉴얼 요청
매뉴얼을 요청하시면 담당자 확인 후 이메일로 보내드립니다.PROJECT CONSULTATION