WAFER SUPPLY & D-CUT ALIGN
Elevator와 Pusher로 Wafer를 투입하고, 정렬·Rotation 장치가 D-Cut 위치를 인식한 뒤 Mounter Chuck으로 이송합니다.
SEMICONDUCTOR AUTOMATION ·
Auto UV Irradiation System
AUTO UV IRRADIATION SYSTEMSEMICONDUCTOR AUTOMATION · 05
Auto UV Irradiation System
Wafer 표면의 UV Tape를 쉽게 분리할 수 있도록 제품 투입과 배출, UV Lamp 조사를 Full Auto로 수행합니다. 제품별 조사량을 제어해 생산성과 안정적인 품질을 유지하도록 설계되었습니다.
Full Auto · 6 inch 전용 · 제품별 UV Dose 조절 · 외부 UV 노출 방지
EQUIPMENT CONFIGURATION
장비 구성
Wafer 공급·이송, UV 조사, 완제품 배출을 Full Auto로 수행하는 핵심 유닛 구성입니다.
NO. / PART NAMENO. / PART NAME
01Carrier Transfer | Servo Motor/400w
02Carrier Elevator | BLDC Motor/50w
037” Touch panel
04UV unit Ass’y | Lamp - 4EA
05Under Transfer Unit
AUTOMATED PROCESS
설비 동작 순서
UV 조사기 기동부터 완제품 Cassette 배출까지 이어지는 12단계 Full Auto 공정- 01
UV SYSTEM ON
UV 조사기 전원 ON
- 02
LAMP CHECK
UV Lamp 정상 동작 확인
- 03
WAFER INPUT
Wafer 투입
- 04
EDGE DETECTION
Wafer Edge 감지
- 05
WAFER LOADING
Wafer 자동 이송
- 06
POSITIONING
UV 조사 영역 안착
- 07
UV IRRADIATION
제품별 UV 조사
- 08
DOSE ADJUSTMENT
UV 조사량 조건 조정
- 09
RECIPE STORAGE
제품별 UV 조사 시간 저장
- 10
AUTO IRRADIATION
자동 UV 조사 진행
- 11
UV COMPLETE
UV 조사 완료
- 12
CASSETTE OUTPUT
완제품 정렬 및 Cassette 배출
OPERATION METHOD
각부 동작 방식
Wafer 공급과 D-Cut 정렬, UV 조사, 완제품 배출, 안전·방열 기능을 연속 제어합니다.
UV IRRADIATION CONTROL
Wafer를 조사 영역에 안착한 뒤 제품별 UV 조사를 수행합니다. 조사량과 시간을 제품 조건에 맞춰 조정·관리합니다.
FINISHED PRODUCT ALIGNMENT
UV 조사가 완료된 Wafer를 Cassette에 정렬해 단계별로 적재하고 안정적으로 배출합니다.
SAFETY & THERMAL MANAGEMENT
UV Lamp의 자외선이 외부로 직접 노출되지 않도록 차폐하고, 설비 내부 Fan으로 방열하며 운전 중 제품 파손을 방지합니다.
TECHNICAL SPECIFICATIONS
사양 및 주요 부품
설비 형식과 크기, 제어·구동, 주요 부품 및 운전 조건- 모델명
- P-ST X2 AUF
- 설비 크기
- 1080(W) × 750(D) × 1750(H) mm
(Tower Lamp 별도) - 입력 전원
- 단상 220 VAC ±10% / 50/60 Hz
- 적용 Wafer Size
- 6 inch 전용
- 전장부 조작
- M2i 7 inch Touch Panel
- 전장부 Main
- LG PLC / XBC-DN32H
- Motor
- LS Servo Motor 400W / BLDC Motor 50W / 30W 외
- Frame 및 Cover
- 철제관 및 분체 도장
- 전장 부품 및 기타
- Fiber Sensor / Autonics
- 공압 장치
- SMC & TPC
※ 적용 공정과 고객 협의 조건에 따라 세부 사양은 변경될 수 있습니다.
TECHNICAL DOWNLOAD
장비 매뉴얼과 기술자료
장비 사양과 운용 정보를 확인할 수 있는 매뉴얼을 다운로드하세요.
PRODUCT MANUAL
장비 매뉴얼 요청
매뉴얼을 요청하시면 담당자 확인 후 이메일로 보내드립니다.PROJECT CONSULTATION